招标公告
1. 招标条件
本招标项目快速退火设备 该项目已具备招标条件，现对快速退火设备进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标编号：ZKX20230429A004
2.2 招标项目
2.3 数量：1套。
2.4 主要功能要求：实现8英寸半导体集成电路硅片制造流程中“快速退火”工艺，用于金属前快速退火，以恢复晶格秩序使晶圆电性能参数满足产品需求。加热方式：Wafer正背面双面加热；加热温度范围：400℃~1300℃。
2.5 交货
2.6 交货期：合同生效后10个月。
3. 投标人资格要求
3.1法人要求：本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。
3.2其它要求：本次招标接受代理商投标，如代理商投标的，需提供原厂商授权书。同一品牌同一型号的“快速退火设备”，仅能委托一个代理商参加投标，否则相关投标均无效。
3.3本次招标不接受联合体投标。
3.4 投标人必须向招标代理机构
4. 招标文件的获取
4.1
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来源：中国电力招标采购网 编辑：dljc