苏美达国际技术贸易 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2025-04-24在公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称：多晶硅、硅刻蚀机 数量：1台设备原理及用途：基本原理：在射频电压的作用下，溴化氢和氯气产生的等离子体和多晶硅反应生成四氯化硅和溴化硅，溴化氢同时有侧壁淀积作用，防止侧腐，生成物被抽出腔体，最终达到刻蚀的目的。用途：本设备为全新设备，主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中多晶硅导线、硅晶圆标记和硅浅槽的刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2540SUMECA83/03招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之多晶硅、硅刻蚀机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 多晶硅、硅刻蚀机 | 1 | 该设备主要由主控制系统，全自动传输系统，1个刻蚀工艺腔，尾气处理系统以及相应的射频系统，气路系统，制冷系统、真空系统等模块组成。设备按照满配来配置相关气管、Cable、电磁阀、pμmp liner和gas liner等，便于未来增加工艺腔体（设备主体需要至少保留增加2个工艺腔的ai、ao、di/o、stepper等）。其他参数详见第八章 | 无 |
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。⑤单位负责人授权书原件。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
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备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
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