序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244ZLCP10001/54 | 彩膜掩膜板清洗装置 | 1台 | 设备用途及基本要求: 该装置用于彩膜近接曝光装置掩膜板清洗制程,目的是去除掩膜板上下表面附着的有机物、颗粒物等。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500/USD250 |
4197-244ZLCP10001/55 | 彩膜/成盒在线自动控制系统 | 1套 | 设备用途及基本要求: 彩膜/成盒在线自动控制系统是连接Inline内各工程生产设备的Conveyor、Robot等相互配合进行的搬送控制系统。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
4197-244ZLCP10001/56 | 机器人系统 | 151套 | 设备用途及基本要求: 机器人系统主要用于搬运G8.6代微电腔显示用玻璃。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000/USD3250 |
4197-244ZLCP10001/58 | 干式真空泵(二) | 90台 | 设备用途及基本要求: 本设备是对阵列设备进行真空排气的装置。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/61 | 卡匣洗净装置 | 1台 | 设备用途及基本要求: 本设备是对基板收纳用卡匣进行清洗、干燥,并对卡匣外框、支撑部件形变是否超出标准范围进行检查的设备。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/62 | 上下料移载系统 | 82套 | 设备用途及基本要求: 上下料移载系统(简称LD/ULD系统)主要用于Stock和工艺设备之间的连接,协调各设备间基板相互搬送及基板投入的系统。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/66 | 彩膜显影后背面曝光装置 | 2台 | 设备用途及基本要求: 本设备搭载于彩膜显影装置上,用来对显影后基板的表面和背面进行紫外光照射。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500/USD250 |
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