序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 多层金属膜无损测量系统 | 1套 | 用于红外器件芯片与读出电路制备的多层金属膜厚度的无损、在线检测与逆向分析。 | 交货期为合同生效后4个月内; 交付地点为用户最终使用现场 |
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