序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | CMP供液系统设备 | 1套 | 用于输送化学机械抛光机(简称“CMP”)抛光液的设备或系统,作为辅助设备,用于将CMP抛光液从存储容器输送到CMP抛光机,并确保液体的流量和压力稳定,以满足CMP抛光工艺的需求。 |
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