日 期：2024年 9 月 23 日
招标编号：0722-244FE2144
项目名称：VPD晶圆表面污染物分析仪（重新招标）
受重庆芯联微电子 委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年 9 月 23 日发布招标公告。
本次招标采用国际公开招标方式。
1. 招标条件
1.1 项目概况：VPD晶圆表面污染物分析仪1台，全新。
1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。
1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。
2. 招标内容
2.1交货
比较常见的侦测技术手段是首先通过VPD (晶圆级气相分解仪）的方式收集晶圆表面的超微量杂质，再结合ICP-MS（等离子质谱仪）进行金属痕量分析。
此种组合方法的检出限可以低至 107 原子/厘米2（ppt 级别）。
2.3 交货时间：合同生效后240天。
3. 投标人资格要求
3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。
3.3 投标人或投标货物的制造商须具备在近三年（2022年1月1日至今）向5家以上中国大陆12英寸集成电路制造企业提供离线式VPD设备，且在先进制程节点供货和安装调试不低于5台实绩；（需提供业绩合同复印件或验收证明复印件或制造商出具的所投标产品的客户销售清单并加盖制造商公章作为证明材料）。
3.4本次招标不接受联合体投标。
3.5投标人必须向招标代理机构
4.
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来源：中国电力招标采购网
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编辑：mofcom