项目编号 : 0762-2440CBNB2021
公布日期 : 2024-08-06
受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年8月6日在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1. 招标条件
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购单片式化学清洗机1套、全自动去胶剥离机1套、晶圆清洗机1套。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
2. 招标内容：
招标项目编号：0762-2440CBNB2021
招标项目名称：甬江实验室采购单片式化学清洗机等设备项目（重招）
项目实施
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2
全自动去胶剥离机
1套
主要用于微纳器件Lift-off制备工艺中，用来去除多余的光刻胶及胶上的金属，保留未被光刻胶覆盖区域的金属图形。
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3
晶圆清洗机
1套
主要用于包括晶片炉管前后、化学气相沉积（CVD）前后、物理气相沉积（PVD）前后、化学机械拋光（CMP）前后，以及晶圆背部的水洗工艺，同时用于对外来晶圆的高压水洗、刷片清洁等水洗工艺。
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*备注：投标人必须对表中所有货物进行投标，否则作无效标处理。
3. 投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
是否接受联合体投标：不接受；
未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。
4.
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来源：中国电力招标采购网 编辑：cbbiddin