序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 扫描式曝光机 | 1台 | (1)本次需求采购所有曝光机设备分辨率≤1.5um。此次采购机台主要用于TPOT曝光系统,主要用途为通过曝光过程,将光罩上设计的图形完整转移至基板光阻上,完整的意义为大小与位置皆符合设计规格; (2)基板尺寸:需可单独对应1张1500mm*924.8mm及同时对应2张1500mm*924.8mm glass run片; (3)每台机台内光罩储存槽,最少需有9套。 | 0730-244010020007-53 |
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